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研究方向 ：
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本工程技术中心将充分利用北方微电子在半导体高端工艺装备领域丰富的研发及产业化经验，通过自主创新，研发MOCVD(有机化学气相沉积炉，又称外延炉）设备规模化生产所需的技术及工艺，率先实现MOCVD重大装备国产化，打破国外MOCVD设备制造商的垄断地位，同时带动下游LED产业的健康发展。 本工程中心建设规模为年产50套MOCVD设备。 为完成以上建设目标，本工程技术中心的研究内容如下： ——对MOCVD关键设备进行研发，制造原理样机1台、工程样机2台，商业机3台。 ——对外延工艺进行研发，完成国产MOCVD设备在LED生产线的工艺验证。 ——购置MOCVD设备一天及配套的测试设备，利用2300平方米净化厂房形成完备的外延实验和产业化条件。
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