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北京市化学机械平坦化工艺设备工程技术研究中心
     
基地名称 ： 北京市化学机械平坦化工艺设备工程技术研究中心
     
依托单位 ： 中国电子科技集团公司第四十五研究所
     
所属领域 ： 高端装备制造
     
研究方向 ：       1.以集成电路、MEMS器件、LED衬底材料等研制中涉及的平坦化技术、工艺、系统为研究方向。