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北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心
     
基地名称 ： 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心
     
依托单位 ： 中国科学院微电子研究所
     
所属领域 ： 高端装备制造
     
研究方向 ：       1.集成电路微纳加工技术研究； 2.集成电路仪器设备开发。