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基地名称 ：
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北京市微电子刻蚀与薄膜工艺装备工程技术研究中心
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依托单位 ：
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北京北方华创微电子装备有限公司
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所属领域 ：
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高端装备制造
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研究方向 ：
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北方微电子公司通过在高端集成电路装备领域十年的技术积累，通过实施技术和产品的多元化战略，建立了以刻蚀机、PVD半导体工艺装备产品为核心的产品战略布局。本工程中心将通过自主创新，研发满足20-14nm集成电路领域规模化生产所需的高密度等离子刻蚀机、PVD装备，率先实现集成电路制造领域重大装备的国产化，打破国外设备制造商的垄断地位。同时，结合市场需求并紧跟半导体技术发展趋势，在持续提高产品技术水平的同时，不断扩大产品市场化应用范围，在大规模集成电路应用领域的基础上，将产品拓展到半导体照明、先进封装、微机械系统、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域。
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