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基地名称 ：
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北京市高纯金属溅射靶材工程技术研究中心
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依托单位 ：
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有研亿金新材料有限公司
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所属领域 ：
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新材料
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研究方向 ：
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主要研究内容：1.高纯/超高纯金属原材料制备技术：铜、钛、镍、钴以及贵金属纯化技术及装备；2.超大规模集成电路用金属靶材制造技术：超高纯金属靶材微观组织控制控制技术；靶材与背板高强度焊接技术及分析检测技术；溅射制备集成电路金属化薄膜及性能评价。3.高代线平板显示用大尺寸靶材制造技术：大尺寸平面/旋转高纯金属材料的微观组织控制及宏观成型技术；大面积靶材高可靠焊接技术及分析检测技术；溅射制备平板显示金属化薄膜及性能评价。
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