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基地名称 ：
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北京市半导体微纳集成工程技术研究中心
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依托单位 ：
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中国科学院半导体研究所
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所属领域 ：
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新一代信息技术
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研究方向 ：
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旨在建立首都半导体新材料、新结构器件和新功能芯片的先进微纳工艺集成技术的工程化研究平台，集微米、纳米加工和检测手段于一体，提高现有微纳制造技术在器件生产中的成熟性、配套性和工程化水平，形成具有开发微纳电子器件、微纳光电子器件、微纳光机电系统、太阳能电池、生物传感器及生物芯片等多功能的技术支撑体系；形成具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；加速企业核心技术开发进程，形成具有孵化器功能并为企业全方位开放的服务体系；形成半导体技术研究和产业人才的培养基地。
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